探針接觸式輪廓儀提供可重復、可靠和準確的測量

　　探針接觸式輪廓儀系統采用掃描探針顯微鏡光學(xué)杠桿位移檢測技術(shù)和超平基準面大樣品臺掃描技術(shù)，與壓電陶瓷（PZT）掃描結合。在不損失精度的情況下，可以獲得超大樣本的整體三維輪廓，呈現局部三維形狀圖像。采用超高平整度光學(xué)拋光平臺掃描樣品臺參考平面，有效解決絲杠公差導致的測試結果亞微米誤差。

　　1、探針接觸式輪廓儀與掃描探針顯微鏡的結合。

　　2、雙模式操作（掃描和樣品臺掃描）即使在遠距離測量中也可以獲得最佳的小區域3D映射。

　　3、3D形貌測量在干涉級提供亞納米分辨率。

　　4、在任何物鏡放大倍數下都保證亞納米垂直分辨率。

　　5、多種物鏡可選，包括長(cháng)工作距離物鏡、玻璃校正物鏡、水鏡、油鏡等

　　6、多環(huán)境測量，包括真空、大氣、液體、透光窗、溫濕度可控環(huán)境等。

　　探針接觸式輪廓儀提供可重復、可靠和準確的測量：從傳統的臺階高度測量和二維粗糙度的表面表征到先進(jìn)的三維形態(tài)和薄膜應力分析，已被廣泛接受為測量薄膜厚度、應力、表面粗糙度和形貌的黃金標準，并已應用于從學(xué)術(shù)研究到半導體過(guò)程控制的各個(gè)領(lǐng)域。

　　探針輪廓儀使用在表面上移動(dòng)通過(guò)感測針的高度和波動(dòng)來(lái)確定表面輪廓。探針輪廓儀可以測量高達LMM的高度。該輪廓儀的工作原理類(lèi)似于留聲機。通常，被測表面在探頭下方移動(dòng)，但探頭也可能在表面上移動(dòng)。探頭的垂直運動(dòng)由線(xiàn)性變化的差動(dòng)變壓器（LVDT）測量，然后將測量信號轉換為高度數據。探頭由硬質(zhì)材料制成，例如金剛石。曲率半徑在0.05μm和50μm之間，這決定了儀器的橫向分辨率。