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橢圓偏振儀都有哪些主要用途?

更新時(shí)間:2022-07-13      點(diǎn)擊次數:1944
  橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學(xué)技術(shù),廣泛應用于薄層和表面特征。根據薄膜樣品反射的線(xiàn)偏振光偏振態(tài)的變化,通過(guò)模型擬合得到厚度和光學(xué)常數。根據薄膜材料的不同,可測量的厚度從幾微米到幾十微米不等。橢圓偏振光譜是一種很好的多層薄膜測量技術(shù)。
  
  橢圓偏振儀可以表征薄膜的一系列特性,如薄膜厚度、光學(xué)性質(zhì)(n,K)、光學(xué)帶隙、界面和粗糙度厚度、薄膜成分、薄膜均勻性等。采用新型高頻偏振調制技術(shù),測試過(guò)程無(wú)機械轉動(dòng)。與傳統的橢偏儀相比,它具有更快的測試速度、更寬的測量范圍和更高的表征精度。
  
 

橢圓偏振儀
 

 

  橢圓偏振儀是一種用于檢測薄膜的厚度、光學(xué)常數和材料微觀(guān)結構的光學(xué)測量設備。由于不與樣品接觸,因此不會(huì )損壞樣品,也不需要抽真空,可測量的材料包括半導體、電介質(zhì)、聚合物、有機物、金屬和多層材料。也可應用于半導體、通訊、數據存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示、科研、生物、醫藥等領(lǐng)域。
  
  橢圓偏振儀主體采用高強度鋼鋁結構,底座采用三維圓盤(pán)設計,并采用高精度蝸桿軸承系統,增強入射角控制精度,提高機械強度和穩定性?xún)x器,并通過(guò)計算機控制自動(dòng)改變M入射角,同時(shí)結合光譜測量。儀器的狀態(tài)調整、參數設置、數據采集和數據處理均由計算機自動(dòng)完成,方便用戶(hù)使用。廣泛應用于大學(xué)教學(xué)和工業(yè)生產(chǎn),可用于研究金屬、非晶、太陽(yáng)能材料、非線(xiàn)性材料等,是一款高性?xún)r(jià)比、高集成度、高穩定性的通用型納米薄膜厚度測量分析儀器并且操作簡(jiǎn)單。它的主要功能如下:
  
  1、各種功能材料的光學(xué)常數測量和光譜特性分析;
  
  2、測量薄膜材料的折射率和厚度;測量對象包括:金屬、半導體、超導體、絕緣體、非晶、超晶格、磁性材料、光電材料、非線(xiàn)性材料;測量光學(xué)常數:復折射率實(shí)部虛部、復介電常數實(shí)部虛部、吸收系數a、反射率R。

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