什么是
多功能寬密度等離子體?
多功能寬密度等離子體是一臺可以產(chǎn)生和維持一直線(xiàn)段穩態(tài)等離子體的裝置,包含有真空系統、磁約束系統、等離子體源、真空系統、等離子體診斷系統、電源和其他輔助系統組成。
通過(guò)探針、樣品臺等工具,可研究等離子體與材料相互作用的基礎問(wèn)題,如材料的物理濺射和化學(xué)刻蝕、材料中氫和氦滯留/起泡問(wèn)題、等離子體破裂對材料的影響模擬等,也可以通過(guò)窗口輸入微波,進(jìn)行等離子體與波相互作用的研究,其用途十分廣泛。
據悉,該多功能寬密度等離子體是目前國內大的直線(xiàn)等離子體裝置,其真空室直徑500mm,長(cháng)度6米,并且由于其直線(xiàn)裝置的*結構,后期可以根據物理實(shí)驗的需求在此基礎上延長(cháng)。在研制過(guò)程中,中心克服了多磁場(chǎng)不易耦合的問(wèn)題,與等離子體所十二室參建人員一起找到了磁場(chǎng)共振位置。其直流放電等離子體密度在真空室中心磁鏡弱處達到1650G,等離子體密度可達1015m-3,并且磁場(chǎng)位形可根據實(shí)驗需要進(jìn)行調整,實(shí)現4:1的磁鏡比,單次實(shí)驗可穩定連續工作10小時(shí)以上。
為了便于未來(lái)物理實(shí)驗的需求,研制中心在設計時(shí)采取了模塊化拆裝的方式,避免了每一次試驗的破壞性拆裝。同時(shí),在充分考慮后續實(shí)驗需求的基礎上,特別為裝置預留了匹配13.56MHz的射頻補償和微波加熱位置。