高速3D激光共聚焦顯微鏡

NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3600是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀(guān)三維結構，如半導體晶片，FPD產(chǎn)品，MEMS設備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測量                               自動(dòng)傾斜補償

• 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數據分析模式

• 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準備

• 自動(dòng)聚焦

Software (軟件）：

Application field（應用領(lǐng)域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高度，線(xiàn)圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析

Specifications（規格）：

注1:100次測量標準樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

注2:100次測量標準樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。