NS3500 Solar 半導體晶圓質(zhì)量檢測系統

NS3500 Solar 半導體晶圓質(zhì)量檢測系統

NS-3500 Solar 是一種可靠的半導體晶圓檢測系統。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀(guān)三維結構，可以為半導體晶片，FPD產(chǎn)品，MEMS設備，玻璃基板，材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測量                               自動(dòng)傾斜補償

• 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數據分析模式

• 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準備

• 自動(dòng)聚焦

Application field（應用領(lǐng)域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高度，線(xiàn)圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析

Specifications(規格）:

注1:精細掃描由壓電執行器（PZT）執行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步長(cháng)1μm）進(jìn)行100次測量。