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激光共聚焦掃描顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:激光共聚焦掃描顯微鏡通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀(guān)三維結構,如半導體晶片,FPD產(chǎn)品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有解決方案。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3603

詳細介紹

激光共聚焦掃描顯微鏡是一種準確、可靠的三維(3D)掃描系統,通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀(guān)三維結構,如半導體晶片,FPD產(chǎn)品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測量                               自動(dòng)傾斜補償

實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數據分析模式

多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準備

自動(dòng)聚焦

Application field(應用領(lǐng)域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導體:IC圖形,凹凸高度,線(xiàn)圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

Specification(激光共聚焦掃描顯微鏡規格):

Model

Microscope  NS-3500

備注

 

Controller    NS-3500E

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

觀(guān)察/  測量范圍

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

數值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光學(xué)變焦

x1 to x6

 

總放大倍率

178x to 26700x

 

觀(guān)察/測量光學(xué)系統

針孔共聚焦光學(xué)系統

 

高度測量

測量掃描

長(cháng)掃描 : 10 mm

 

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復率 σ

0.010 μm

注 1以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長(cháng)1μm)進(jìn)行100次測量。

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復率 3σ

0.02 μm

注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測量

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

單色圖像

12 bit

 

彩色圖像

8-bit for RGB each

 

高度測量

16 bit

 

幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz

 

線(xiàn)掃描

~8 kHz

 

自動(dòng)功能

自動(dòng)增益

 

激光共焦測量光源

波長(cháng)

405nm

 

輸出

~2mW

 

激光等級

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光電倍增管)

 

光學(xué)觀(guān)察光源

10W LED

 

光學(xué)觀(guān)察照相機

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

 

記錄分辨率

640x480

 

自動(dòng)調整

增益, 快門(mén)速度, White balance

 

數據處理單元

PC

 

電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

電流消耗

500 VA max.

 

重量

顯微鏡

Approx. ~200 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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