TESCAN GAIA3電鏡系統

TESCAN GAIA3電鏡系統

TESCAN GAIA3電鏡系統*的集成了超高分辨率的電子光學(xué)系統和高性能的離子束系統，二者配置于同一樣品室上。GAIA3電鏡以MAIA3場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡為平臺，在保留MAIA3*性能的基礎上，增加了使用聚焦離子束進(jìn)行樣品表面處理的功能。GAIA3具有創(chuàng )新性的場(chǎng)發(fā)射電鏡設計，低電壓下仍具有出色的分辨率，大大提高了其成像能力。與一般電鏡的電磁物鏡相比，GAIA3具有較窄小的電磁物鏡，同時(shí)InBeam-SE探頭和InBeam-BSE探頭的位置都位于透鏡內，這些設計都為FIB及其他分析設備提供了充足空間，使之能夠在樣品表面完成多項工作。

GAIA3的突出特點(diǎn)

·單極60°電磁物鏡設計，的SEM分辨率

·*的多種成像模式—大視場(chǎng)模式，分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN*的大視場(chǎng)光學(xué)系統設計

·馬達控制的精準樣品臺，可進(jìn)行精確的移動(dòng)或傾轉操作

·Field-free模式下可對磁性樣品進(jìn)行有效觀(guān)察

·高達200nA的束流強度

·停留時(shí)間低至20ns的快速電子束刻蝕速度

·FIB的Cobra光學(xué)系統，確保聚焦離子束*的分辨率和優(yōu)異的性能，離子束流為1pA到50nA

·強大的DrawBeam軟件包，包含許多可編程設計模塊（基礎版和高級版）來(lái)實(shí)現掃描及制樣等過(guò)程中可調參數的多樣化

·不僅具有對樣品表面進(jìn)行修飾和觀(guān)察的多種功能，*的空間設計還能夠使電鏡通過(guò)接口兼容多種探測設備與技術(shù)手段，且還能保持*的分析工作距離

GAIA3的功能特點(diǎn)

對納米尺度物質(zhì)的成像分析及控制，是當今順利開(kāi)展研究工作的關(guān)鍵，這要求前沿的技術(shù)手段具有分辨率、準確度、可重復性、穩定性以及靈活性等多方面的優(yōu)異性能。

在前幾代電鏡系統的成功基礎上，TESCAN推出了GAIA3新一代電鏡系統。它保持了SEM的納米級分辨率特征，同時(shí)還集成了*的COBRA-FIB聚焦離子束功能，使新一代GAIA3電鏡擁有更加多元化的分析設備兼容性，提高了分析范圍和分析能力。

GAIA3的一個(gè)突出優(yōu)點(diǎn)在于它低電壓下的掃描電子成像功能，分辨率很高。這對于研究電子敏感材料或是導電性差的樣品極為重要，低電壓可以降低電子與材料相互作用，從而保證好的分辨率同時(shí)還能獲得好的低電壓襯度。

COBRA-FIB聚焦離子束系統是一項*技術(shù)，不論成像拍照還是樣品微觀(guān)加工，都能保持很高的尺寸分辨率，是納米工程領(lǐng)域*的FIB設備。

系統靈活性與工具多樣性

TESCAN致力于為科研人員提供操作便捷、結果可靠、系統穩定的解決方案與技術(shù)手段。TESCAN設備*的用戶(hù)分級設計能夠滿(mǎn)足所有操作者的需求，無(wú)論你是應用專(zhuān)家，還是偶爾操作人員（只需要通過(guò)簡(jiǎn)單操作便可獲得出色的實(shí)驗結果）。應用專(zhuān)家模式是為長(cháng)期使用TESCAN電鏡系統，能夠充分了解和發(fā)揮電鏡靈活性和擴展功能的熟練操作人員設計。TESCAN電鏡系統將眾多功能特點(diǎn)整合于*的交互界面，方便快速完成SEM和FIB各種工作模式與功能的觀(guān)察條件設置。

使用GAIA3電鏡可以輕松獲得的圖像質(zhì)量與襯度，尤其是其*的低電壓拍照功能。當然，二次電子（SE）與背散射電子（BSE）拍照模式在高電壓與低電壓條件下均可使用，獲得高質(zhì)量樣品照片。

GAIA3還配備了先進(jìn)的自由伸縮式STEM探頭，使用FIB制得TEM薄片樣品后可直接進(jìn)行電鏡觀(guān)察。另外，在FIB與SEM雙束電鏡上安裝飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS），一方面能夠提高質(zhì)譜敏感性，另一方面使用FIB對樣品表面連續進(jìn)行連續切割，可獲得樣品質(zhì)量分布的三維分布圖。

GAIA軟件與自動(dòng)化操作系統
       TESCAN的用戶(hù)友好型軟件、許多自動(dòng)化程序、遠程控制系統及腳本庫都致力于幫助用戶(hù)獲得出色的結果，得到業(yè)界與用戶(hù)的*認可。GAIA3更是為經(jīng)驗豐富的用戶(hù)提供了專(zhuān)家級系統設置的訪(fǎng)問(wèn)權，使用戶(hù)能夠根據自身需求進(jìn)行觀(guān)察條件的*化設置。GAIA3擁有多用戶(hù)使用環(huán)境、模塊化軟件設計、網(wǎng)絡(luò )操作控制以及眾多的擴展功能，是一款靈活全面的電鏡設備。

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袁文軍  +86-21-31255909    +86-21-      ：yuanwenjun@sunano.com.cn