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輝光放電光譜儀是解密鍍層工藝、解析鍍層結構的強有力手段,可以通過(guò)元素變化獲得鍍層結構、層間擴散、元素富集、表面處理、鍍層均一性等信息,從而改善工藝條件等。主要應用行業(yè)有金屬冶金、半導體器件、LED芯片、薄膜太陽(yáng)能電池、鋰電池陰陽(yáng)極、光學(xué)玻璃、核材料等。
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