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產(chǎn)品分類(lèi)
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NextCVD等離子體改性及刻蝕多功能寬密度等離子體國內的電感耦合等離子體都是基于中頻13.56MHz的電源發(fā)生器,等離子體密度較低,而且是螺旋管式,主要用于等離子體刻蝕,不適宜用于沉積高質(zhì)量薄膜。
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